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技术荟|增强UVLED的透明导电性新方法
2022-07-09 13:44
本文摘要:ITO跟LED有什么关系?ITO是一种半透明的电极材料,具备低的导电亲率、低的红外线利用亲率、低的机械硬度和较好的化学稳定性。目前ITO膜主要是为了提升LED的出光效率。 Burstein-Moss效应是什么?Burstein-Moss效应:当半导体轻掺入时,费米能级转入导带,本征光吸收边向高能方向移动的现象。在普通掺入的半导体中,费米能级坐落于导带与价带之间。

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ITO跟LED有什么关系?ITO是一种半透明的电极材料,具备低的导电亲率、低的红外线利用亲率、低的机械硬度和较好的化学稳定性。目前ITO膜主要是为了提升LED的出光效率。

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Burstein-Moss效应是什么?Burstein-Moss效应:当半导体轻掺入时,费米能级转入导带,本征光吸收边向高能方向移动的现象。在普通掺入的半导体中,费米能级坐落于导带与价带之间。

当n型掺入浓度上升时,由于电子在导带中核心区,费米能级不会渐渐被推向导带之中(可以非常简单的解读成冰块(费米能级)被减少的水(电子)引到高位)。什么是前躯体(precursor)?前躯体所指的是用来制备、制取其他物质的经过类似处置的因应材料。

日前中山大学的研究人员发明者了一种使用金属有机气相沉积(MOCVD)制取LED结构中氧化铟锡膜(ITO)的工艺,这种方法可以有效地的强化UVLED的半透明导电特性。一般来说UVLED按照波长分成UVAUVBUVC三种类型。

目前主要用作水洁净化、生物消毒消毒、医用医疗、紫外化疗等领域。研究过程尽管ITO在可用光谱区域里是一种半透明导电层材料,但是对于紫外区域,ITO的半透明特性就不会渐渐减少。因此,中山大学团队设法用于MOCVD技术将光学禁带的宽度拓宽到4.7eV。

该禁带所唤起出有的光子波长正好在紫外区域内(364nm)。一般来说UVLED按照波长分成UVAUVBUVC三种类型。目前主要用作水洁净化、生物消毒消毒、医用医疗、紫外化疗等领域。图190nmMOCVD工艺ITO膜的光电特性(a)锡流速(Snflowrate)对于电子密度和迁移率的影响(b)MOCVD工艺ITO膜中的UV红外线利用亲率与有所不同的锡流速。

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(c)有所不同工艺下的ITO光学禁带对比中山大学团队首先在蓝宝石表面用于MOCVD技术(生长环境温度为500°C左右)生长90nmITO膜,前躯体为三甲基铟(trimethylindium)、四甲基锡(tetrakis-dimethylaminotin)、以及氧氩混合气体。最后扣除的材料表面附有类金字塔形状(100)和三角形形状(111)的颗粒。


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